Vertikales Beschichten und Trocknen von Innenlagen

Der Roll Coater VCR 100 beschichtet Innenlagen mit Fotoresist .
Beide Seiten werden gleichzeitig beschichtet.
Der Belader hängt die Innenlagen in ein umlaufendes Klammersystem ein.
Dabei werden die Innenlagen nur an ihrem oberen Rand (ca. 10 mm) gehalten.
Der Rand wird nicht beschichtet. Somit ist die Gefahr einer Flitterbildung durch abplatzendes Resist vom Rand von vornherein ausgeschlossen.
In dieser vertikalen Position durchlaufen die Innenlagen die einzelnen 
Prozeßschritte - Reinigen, Beschichten, Ablüften, Trocknen, Kühlen.

Die typische Trocknungstemperatur liegt bei ca. 90-100°C, ist jedoch immer vom jeweiligen Resist abhängig. Nach der Trocknung werden die Innenlagen auf ca. 25°C abgekühlt und werden anschließend zur weiteren Bearbeitung automatisch entladen.

1. Die Reinigung

Die Schmutzpartikel werden durch Elastomerwalzen von den Oberflächen der Innenlagen genommen und auf Klebewalzen übertragen. Die Reinigungszone ist unmittelbar vor der Beschichtungseinheit angeordnet, um die Gefahr einer erneuten Partikelaufnahme auszuschließen.

2. Die Beschichtung

Die Beschichtungseinheit (Coater) besteht aus 8 vertikal installierten Walzen, 4 Walzen pro Plattenseite. Die Doktorwalze scheidet Beschichtungsflüssigkeit ab und überträgt diese auf die Auftragswalze.
Die Auftragswalze beschichtet die Innenlage. Die Transferwalzen treiben die Auftrags- und Doktorwalze an. Die Beschichtungsflüssigkeit, das Resist, befindet sich im Innenraum der vier Walzen. Die Walzen sind unten abgedichtet, um das Resist dort zu halten. Zusätzlich zu den Dichtungen ist ein Überlaufmechanismus eingerichtet sowie eine Auffangwanne vorhanden.

3. Die Trocknung

Die Trocknung kann mit IR-Strahlung, mit Konvektionswärme oder mit einer Kombination aus beiden erfolgen.
Die frisch beschichteten Innenlagen dunsten im Bereich der Inspektionszone ab. Diese ist von beiden Seiten durch Ganzglastüren einsehbar, d.h. das Beschichtungsergebnis ist sofort sichtbar. Die doppelseitige Trocknung erfolgt unmittelbar in drei separat regelbaren Trocknermodulen bei einer Temperatur von ca. 100°C.
Im Anschluß an die Trocknung werden die Innenlagen auf ca. 25° C heruntergekühlt. Zur Kühlung wird Raumluft angesaugt und über einen Wärmetauscher geführt. Die genutzte Kühlluft wird anschließend der Abluft zugeführt.

4. Das Be- und Entladesystem

Im Einlaufbereich werden die vorgereinigten Innenlagen über Vacuum angesaugt und in die vertikale Position geschwenkt.
Nach dem Öffnen der Klammern wird die Innenlage eingehängt und die Klammern wieder geschlossen. Die Innenlagen hängen fest in den Klammern. Sie durchlaufen in dieser freihängenden Position den nun folgenden Prozess.

Das Entladen nach der Kühlung erfolgt in umgekehrter Reihenfolge, das heißt, die Innenlagen werden aus den Klammern entnommen und vom Schwenkarm auf das Auslaufband abgelegt. Sie werden dem nun folgenden Prozess zugeführt.

• Halten der Innenlage nur an ihrem oberen lackfreien Rand
• Keine Flitterbildung durch abplatzendes Resist
• Unterschiedliche Formate ohne Systemumstellung möglich
• Verwundene Innenlagen sind problemlos beschichtbar
• Leicht zugänglicher Wartungs- und Reinigungsbereich
• Modulare Trocknereinheiten, daher leicht erweiterbar
• Geringer Platzbedarf, da schmale Bauform
• Besonders effektive Trocknung, kurze Bauform
• Inspektionszone unmittelbar nach der Beschichtung
• Sicherer Transport in Klammern unabhängig vom Beschichtungssystem
• Korpus komplett aus Edelstahl gefertigt

*) Breite und Höhe der Beschichtungseinheit

Zeichnung: VCR100

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Unsere Produkt- Infos: 
Beschichten- LG 250,
Trocknen- (Horizontal) HET 120, IR/16 KW, ABL 30, (Vertikal) VDH 248, MD4000
Handling- Horizontalstapler HS, Vertikalstapler VS, Transportmodule XT/US1/XTP, Trennvorrichtungen TVA, Trennautomaten TA, Schleifmaschine SV100